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使用金像測(cè)量顯微鏡有哪些方法呢?
更新時(shí)間:2017-07-21 點(diǎn)擊次數(shù):1997
金像測(cè)量顯微鏡是采用用透、反射的方式對(duì)工件長(zhǎng)度和角度作密測(cè)量。別適用于錄象磁頭、大規(guī)模集成電路線寬以及其它密零件的測(cè)試儀器。廣泛地適用于計(jì)量室、生產(chǎn)作業(yè)線及科學(xué)研究等部門。那么使用金像測(cè)量顯微鏡有哪些方法呢?
1.使用金像測(cè)量顯微鏡
影像法是利用顯微鏡中間的十字線標(biāo)記,對(duì)影像進(jìn)行瞄準(zhǔn)定位的測(cè)量方法。測(cè)量時(shí),通過(guò)十字線標(biāo)記瞄準(zhǔn)測(cè)量物體的影像邊緣,并在讀數(shù)顯鏡上讀出數(shù)值,然后移動(dòng)工作臺(tái)以同條刻線瞄準(zhǔn)測(cè)量物體的另邊,再作二次讀數(shù)。兩次讀數(shù)的差,是被測(cè)量物體的測(cè)量值。
2.使用顯微鏡的軸切法
軸切法是利用中央顯微鏡的標(biāo)記對(duì)通過(guò)測(cè)件軸心線并利用測(cè)量刀上的刻線進(jìn)行瞄準(zhǔn)定位的自動(dòng)化測(cè)量系統(tǒng)方法。其表面有刻線,刻線刃口的尺寸為0.3和0.9毫米兩種,測(cè)量時(shí),把測(cè)量刀放在測(cè)量刀墊板上,刻線面通過(guò)測(cè)件的軸線,并使測(cè)刀的刃口和被測(cè)面緊緊接觸,用相應(yīng)的米字線去瞄準(zhǔn),測(cè)量?jī)砂褱y(cè)刀刻線間的距離,間接測(cè)得被測(cè)件的測(cè)量值。為了避免測(cè)量中的計(jì)算,在中間垂直米字線的兩側(cè)刻有兩組共四條對(duì)稱分布的平行線,每組刻線對(duì)刻線的距離分別為0.9和2.7毫米,它正是測(cè)刀的刃口到刻線間的距離0.3和0.9毫米的3倍。這樣用3倍物鏡瞄準(zhǔn)時(shí),分劃板上的0.9和2.7毫米刻線正壓住測(cè)刀上的0.3和0.9毫米刻線,這時(shí)測(cè)刀上的刃口正被米字線的中間刻線所瞄準(zhǔn)。
3.使用金像測(cè)量顯微鏡顯微鏡接觸法
接觸法是利用顯微鏡的標(biāo)記對(duì)和緊靠測(cè)件測(cè)量點(diǎn)、線、面。測(cè)量時(shí)將光學(xué)測(cè)孔器的測(cè)頭緊靠件(內(nèi)、外)表面。當(dāng)測(cè)量孔徑時(shí),先使測(cè)頭與測(cè)件內(nèi)孔接觸,取得大弦長(zhǎng)后,使米字線中間刻線被光學(xué)測(cè)孔器的雙套線套在中間,并在讀數(shù)顯微鏡讀取數(shù);然后改變測(cè)量方向,使測(cè)頭在另側(cè)與測(cè)件接觸,同樣使米字線分劃板的中間刻線仍被光學(xué)測(cè)孔器的雙套線套在中間,在讀數(shù)顯微鏡上讀取另數(shù)。兩次讀數(shù)的差,再加上測(cè)頭直徑的實(shí)際值,即為測(cè)件的內(nèi)尺寸,如減去測(cè)頭直徑的實(shí)際值,即為測(cè)件的外尺寸。 

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